一、主要部件:
JEOLJEM-2100F主机、X射线能谱仪(EDS)、电子能量损失谱仪(EELS)。
二、主要性能指标:
1、点分辨率:0.24nm;
2、线分辨率:0.10nm;
3、加速电压:100, 120, 160, 200kV;
4、倾斜角:25度;
5、STEM分辨率:0.20nm。
三、设备特点及应用范围:
JEM-2100F透射电子显微镜系日本电子株式会社(JEOL)产品。该电镜的加速电压为200kV,具有透射(TEM)、会聚束衍射(CBED)以及纳米束衍射(NBD)等工作模式,并且可与能谱仪联机,进行样品成分分析。其点分辨率和线分辨率分别为0.19nm和0.1nm;STEM分辨率为0.20nm;放大倍数达150万倍。利用其不仅可以获得样品的高分辨率电子显微像,而且还可对样品微区作纳米尺度的结构与成分分析。因而JEM-2100F广泛应用于材料科学、生命科学、半导体、纳米技术等领域。