JEOL JSM-6510扫描电子显微镜
JEOL JSM-6510扫描电子显微镜
仪器名称 |
扫描电子显微镜 |
仪器型号 |
JSM6510 |
制造厂商 |
日本电子 |
联系方式 |
4408809380 |
仪器所在地 |
春华南楼117A |
技术参数 |
放大倍数 |
5-300，000倍 |
分辨率 |
高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) |
电子枪 |
全自动，亦可手动调整 |
样品台 |
大全对中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度 |
灯丝 |
工厂预对中灯丝（钨） |
图像模式 |
二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像 |
加速电压 |
5-30KV |
聚光镜 |
可变焦聚光镜 |
物镜 |
超级锥形物镜 |
物镜光阑 |
3档，X-Y可细调 |
电位移 |
±50微米 |
自动功能 |
聚焦，亮度，衬度，消像散 |
最大样品 |
直径：150mm |
样品交换 |
抽拉式样品台 |
真空系统 |
全自动扩散泵DP。分子泵TMP（选购） |
操作系统 |
Windows XP |
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安装要求 |
电源 |
单相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 稳压范围10%以内（压降3.0KVA3%以内） |
地线 |
独立地线一条，小于等于100欧 |
温度 |
20土5℃ |
湿度 |
小于等于60% |
交流磁场 |
小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV） |
地面振动 |
大于5Hz正玄波 小于等于2μm（P-P） |
占地 |
2000（W）*2500（D）*1800（H）mm |
重量 |
325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV） |
门宽 |
850mm以上 |
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应用范围：(1)三维形貌的观察和分析；
(2)在观察形貌的同时，进行微区的成分分析。
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