原子力显微镜

仪器名称：原子力显微镜

仪器型号：ICON

生产厂家：美国，Bruker

仪器简介：DimensionIcon轻松获得纳米尺度上的检测结果。DimensionIcon还配备了Bruker专利技术ScanAsyst（自动扫描成像模式），用户可以简易快捷地获得重复性更好的数据，。独特的传感器设计，在闭环条件下，也能实现大样品台、针尖扫描的AFM具有与开环噪音水平一样的低噪音水平，且具有极高的扫描分辨率，极大地降低噪声水平，在轻敲模式下低于30pm，接触模式下可获得原子级图像。热漂移速率低于200pm/分钟，获得真正的样品图像。

主要参数：

X-Y方向扫描范围：90um*90um典型值，最小85um

Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um

垂直方向噪音基底：<30pmRMS,在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：<0.15nmRMS，典型成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：<0.10nmRMS，典型成像带宽（达到625Hz）

Z传感器噪音水平（闭环）：<35pmRMS,典型成像带宽（达到625Hz）

整体线性误差（X-Y-Z）：0.5%典型值

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径210mm,厚度15mm

电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。

显微镜光学系统：五百万像素数字照相机

应用范围：无机材料表面形貌及压电性能测量。