场发射电子探针室主要设备是日本电子JEOL的JXA-iHP200F型场发射电子探针（EPMA）。实验室位于明德楼D106。

电子探针的功能主要是进行微区成分分析，可进行定性分析Qual、定量分析Quant、线分析Line、面分析Map；在不损耗试样的情况下，电子探针通常能分析直径和深度不小于1微米范围内、原子序数4~92的所有元素；但是对原子序数小于12的元素，其灵敏度较差。主要应用于钢铁、汽车、电子零件和电池材料等各种工业领域，作为研究开发和品质保证的分析工具被广泛使用。JXA-iHP200F型场发射电子探针的主要性能指标如下：

分析元素范围：WDS：5B（4Be*）~92U；EDS：4Be~92U

X射线范围：波长范围WDS：0.087~9.3nm；能量范围EDS：20keV

谱仪数：WDS：4个（最多5个）；EDS：1个

加速电压：1~30KV（0.1KV steps）

探针电流范围：1pA~3μA

探针电流稳定性：±0.3%/h，±1.0%/12h*2

二次电子像分辨率（观察模式）：2.5nm

二次电子像分辨率（分析模式）：20nm（10kV，10nA）；50nm（10kV，100nA）

扫描放大倍数：×40~300000（WD 11mm）

扫描图像分辨率：最大5120×3840

主要应用：