场发射扫描电镜室主要设备是TESCAN MIRA场发射扫描电镜（SEM）。实验室位于明德楼D108。

TESCAN MIRA 是 TESCAN 推出的第四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，在TESCAN 的 Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现了 SEM 成像和实时元素分析。这种结合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，从而使得MIRA 成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有效分析解决方案。TESCAN MIRA 具有创新的光学设计，确保在需要时可以随时无缝地选择成像或分析条件，而无需对镜筒内的任何元件重新进行机械对中；借助完全集成的 Essence™ EDS 软件，可以快速、轻松地从成像切换到分析操作模式，一键即可实现所有设置参数的更改。

技术参数：

二次电子分辨率：1.0nm@30kV,3.5nm@1kV

背散射电子分辨率：2.0nm@30kV

放大倍数：1-1000000

加速电压：0.2-30kV

EDS能量分辨率：129eV(Mn-Ka)

应用范围：

表面形貌分析；EDS成分分析；BPMA矿物分析；EBSD取向分析

主要特点：

配备高亮度肖特基场发射电子枪，快速无缝地选择成像或分析条件，获得最佳的成像和分析条件；低至1倍的最小放大倍率，可轻松精准的对样品进行导航；并配备了矿物分析软件及EDSD取向分析。

主要应用：