设备名称：场发射电子探针

设备厂家：JEOL（日本）

设备型号：JXA-iHP200F

存放地点：明德楼D106

设备参数/要求：

分析元素范围：WDS：5B（4Be*）~92U；EDS：4Be~92U

X射线范围：波长范围WDS：0.087~9.3nm

能量范围EDS：20keV

谱仪数：WDS：4个（最多5个）；EDS：1个

加速电压：1~30KV（0.1KV steps）

探针电流范围：1pA~3μA

探针电流稳定性：±0.3%/h，±1.0%/12h*2

二次电子像分辨率（观察模式）：2.5nm

二次电子像分辨率（分析模式）：20nm（10kV，10nA）；50nm（10kV，100nA）

扫描放大倍数：×40~300000（WD 11mm）

扫描图像分辨率：最大5120×3840

应用范围：微区成分分析、定性分析、定量分析、元素分布分析