设备名称:高分辨X射线显微镜
设备厂家:蔡司(德国)
设备型号:Xradia 610 Versa
存放地点:明德楼D102
设备参数/要求:
1、空间分辨率:最佳三维空间分辨率≤0.5μm;当X射线源距样品旋转轴50mm时的最佳空间分辨率≤1.0μm;
2、最小可实现的体素(最大放大倍率下样品的体素大小)≤40 nm;
3、系统必须采用几何+光学两级放大的架构,以满足我单位对大样品进行局部高分辨率的成像需求。
4、无损伤地对样品进行三维组织表征,可获得样品的三维组织形貌及不同角度、不同位置的虚拟二维切片组织形貌信息。不需制样或只需简单制备,不需真空观察环境,不会引入人为缺陷
应用范围:可对各类金属材料、复合材料、生物组织(动物组织、植物组织)、油气地质及半导体样品进行高分辨无损三维成像及组织表征。