场发射扫描电镜系统

场发射扫描电镜系统

主要规格及技术指标：

最高放大倍率：200万倍；

分辨率：0.7nm @15kV；1.2nm @1kV

加速电压：0.02-30kV；

样品仓尺寸：330mm（D），270mm（H）

五轴电动优中心样品台：X/Y = 130 mm；Z = 50 mm；T = -4°- 70º；R = 360ºcontinuous

最大存储分辨率：32k x 24k

主要功能及特色：

高分辨扫描电镜系统，采用专利的Gemini镜筒设计，具有卓越的高低电压分辨能力；磁透镜与静电透镜的复合透镜设计，保证样品室内无漏磁；高束流稳定性。

配置的①In-lens，②ET-SE，③)aBSD，④)aSTEM等 四个探测器可完成对试样表面形貌的高分辨观察；

配备的EDS对样品进行定性和半定量分析，无损样品，可在观察样品表面形貌的同时全面了解样品成分、微观组织结构与性能的关系；

配备的EBSD可对样品进行微织构分析、微取向和晶粒取向分布测量，可以将晶体结构及取向信息与微观组织形貌相对应。

应用范围：

不仅在生物学、医学、农学、食品科学、物理学、化学及环境科学与工程、材料、冶金和电子等众多领域应用广泛，在陶瓷、合金和地质等学科领域亦有十分广阔的应用前景。

样本检测注意事项：

普通形貌观察送检样品为干燥的块状、片状、纤维状及粉末状的固体。应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。

一般情况下,形貌观察样品体积不宜太大（≤5x5x2mm较适合）。

EBSD样品要求满足：无残余应力，表面平整，清洁，适合的形状和尺寸和良好的导电性等五个条件。

用途：最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如：花粉颗粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。